微型近紅外光譜儀（Micro-NearInfraredSpectrometer,NIM）是通過光學原理對物質的組成、含量進行定性、定量分析的一種光學儀器。在絕對零度以上，自然界的一切物體對紅外能量都有著不同程度的吸收和輻射，因此可通過分析待測物的紅外吸收光譜來實現定性、定量檢測。用于物質檢測的紅外光譜技術主要包括近紅外和中紅外兩個波段，前者一般是指800nm～2500nm范圍，后者則是2.5m～25m范圍。理論上，近紅外光譜是分子結構中某些化學鍵能級躍遷的倍頻、合頻與差頻在短波長區域的體現，中紅外光譜則主要是基頻在相對長波區域的體現，因此二者存在一定的對應關系。中紅外光譜因譜峰窄、吸收強、特征性強等優點較早被應用于分子結構解析，近紅外光譜則因譜峰重疊而解析困難，曾經長期處于被遺忘狀態。隨著探測器、信號放大器等器件和光譜解析算法的不斷進步，近紅外光譜技術取得了突破性發展，在化學氣體檢測、農產品成分檢測等分子結構解析相關領域得到了廣泛應用近紅外檢測相比中紅外檢測具有結構簡單、成本低等優點，在表面污染物檢測、生物組織檢測、爆炸物探測等領域具有非常廣闊的應用前景。濾光片型微型近紅外光譜儀濾光片型微型近紅外光譜儀按照濾光片類型又可分為基于可調諧濾光片型光譜儀和基于線性濾光片型光譜儀?？烧{諧濾光片型微型近紅外光譜儀本質是法布里-珀羅干涉儀：由上下鏡和一個介質層（諧振腔）構成，通過對上下鏡施加靜電驅動電壓來調節諧振腔厚度，實現連續可調濾波。線性濾光片型微型近紅外光譜儀的基本原理則是通過錐形腔層的厚度變化進行快速分光。其基本元件分別為可調諧法布里-珀羅濾光片和線性漸變濾光片。如圖1(a)、(b)所示?？烧{諧濾光片型微型近紅外光譜儀通常使用靜電驅動控制法-珀腔中錐形層厚度變化，靜電吸和作用使得光譜范圍非常有限，而制備腔長漸變濾光片陣列是線性濾光片型微型近紅外光譜儀的技術難點?？傮w來說，濾光片型微型紅外光譜儀成本低，體積小，結構簡單緊湊，但其可探測范圍有限并且分辨率較低。色散型微型近紅外光譜儀色散型微型近紅外光譜儀主要通過光柵分光，其中包括通過改變光柵角度進行色散，并通過單元探測器依次獲取光譜不同波段信息的掃描光柵型微型近紅外光譜儀，和通過采用陣列檢測器直接獲取光柵不同波段光譜信息的陣列檢測型微型近紅外光譜儀。