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    透射電子顯微鏡的結構

    2021-05-08 04:36:18

    透射電子顯微鏡的結構

    透射電子顯微鏡(TEM)是使用一束平行的高能電子束通過一片非常薄的試樣,用電磁透鏡聚焦成像的一種高分辨率、高放大倍數的電子光學儀器。它們基本上都是由三個部分組成:電子光學系統、真空系統和電器系統。

    其中電器系統和真空系統是輔助系統。電器系統包括高壓電源、透鏡電源、真空系統電源、控制線路電源和其它部件。

    電鏡的真空系統用來維持鏡筒(凡是電子運行的空間)的真空度,以確保電子槍電極間絕緣,防止成像電子再鏡筒內受氣體分子碰撞而改變運動軌跡,減小樣品污染等。

    電子光學系統是透射電子顯微鏡結構中核心部分,通常稱為鏡筒。鏡筒一般為直立積木式結構,類似于標準直立的透射電學顯微鏡。在鏡筒中自上而下分別是:電子槍、聚光鏡、樣品室、物鏡、中間鏡和投影鏡,最下部是熒光屏和照相記錄系統。通常我們將鏡筒分為照明、成像和觀察記錄三個系統。電子槍和聚光鏡歸于照明系統,樣品室、物鏡和中間鏡是成像系統,熒光屏和照相記錄裝置則是成像和觀察系統。鏡筒的復雜程度主要取決于對透射電子顯微鏡工作性能的要求。透射電子顯微鏡的工作性能越高,其鏡筒越復雜,這主要體現在透鏡的數量和合軸系統的不同。


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